由于晶圓生產(chǎn)的極高附加值,半導(dǎo)體檢測設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中發(fā)揮著越來越突出的作用。2020年,中國半導(dǎo)體測試設(shè)備市場規(guī)模將達(dá)到176億元。隨著中國半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,中國半導(dǎo)體測試設(shè)備的市場規(guī)模預(yù)計將接近400億元。
1、檢測在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中意義重大
從設(shè)計驗證到最終測試,半導(dǎo)體檢驗是必不可少的,它貫穿于整個半導(dǎo)體制造過程。半導(dǎo)體檢驗包括設(shè)計驗證、過程控制檢驗、晶圓測試(CP測試)和成品測試(FT測試)。
根據(jù)電子系統(tǒng)故障檢測中的“十倍法則”,如果在芯片測試中沒有發(fā)現(xiàn)芯片中的故障,那么在電路板(PCB)級發(fā)現(xiàn)故障的成本是在芯片級的十倍。因此,檢測在半導(dǎo)體行業(yè)中發(fā)揮著重要的作用,其地位日益突出。

2、半導(dǎo)體檢測設(shè)備種類多
根據(jù)半導(dǎo)體測試設(shè)備的廣義分類,可以分為前置測量(也稱為半導(dǎo)體測量設(shè)備)和后置測試(也稱為半導(dǎo)體測試設(shè)備)。前道量檢測主要用于晶圓加工環(huán)節(jié),目的是檢查晶圓產(chǎn)品的工藝參數(shù)是否滿足設(shè)計要求,或者在每次制造工藝后是否存在影響成品率的缺陷。屬于實物檢驗;半導(dǎo)體后測試設(shè)備主要用于晶圓加工后,在封裝測試中,以檢查芯片的性能是否符合要求為目的,屬于電學(xué)性能的檢測。
前檢查設(shè)備包括測量和缺陷檢查。測量包括橢偏儀四探針、原子力顯微鏡、熱波系統(tǒng)和相干檢測顯微鏡,缺陷檢測包括光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡。后者檢測設(shè)備主要包括分選機、試驗機和探針站。

3、到2020年,中國半導(dǎo)體檢測設(shè)備的市場規(guī)模將達(dá)到176億元
2016年至2018年,全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模波動增大。2018年,全球半導(dǎo)體設(shè)備市場達(dá)到645.5億美元,比2017年增長34.85%;2019年,全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模下降至僅594億美元。根據(jù)SEMI的預(yù)測,2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額將比2019年增長16%,達(dá)到689億美元。
中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備的市場規(guī)模與全球市場相似。2019年,中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模為129.1億美元(約865億元人民幣),略低于2018年。然而,中國大陸的半導(dǎo)體設(shè)備市場在全球市場中所占的比例一直在增加。
初步推測2020年中國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將恢復(fù)增長,約為155億美元(約1037億元人民幣),約占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場的22%。據(jù)統(tǒng)計,中國半導(dǎo)體測試設(shè)備約占整個半導(dǎo)體設(shè)備市場的17%。可以推斷,2019年中國半導(dǎo)體測試設(shè)備的市場規(guī)模約為147億元,2020年約為176億元。


4、市場規(guī)模預(yù)計接近400億元
隨著我國半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,測試設(shè)備作為提高過程控制成品率、提高效率、降低成本的重要測試工具,將在未來的半導(dǎo)體行業(yè)中發(fā)揮越來越突出的作用。

同時,近年來,我國積極推動尖端半導(dǎo)體測試設(shè)備在國內(nèi)的發(fā)展,預(yù)計未來我國的半導(dǎo)體測試設(shè)備將被國產(chǎn)替代。預(yù)測,2021年中國半導(dǎo)體測試設(shè)備市場預(yù)計將接近400億元。